第(3/3)页 “是它从来就没坏过。” 他绕着GK-3走了一圈。 军大衣被掀开大半,露出主光路系统的铸铝外壳。 汞灯光源的接口擦得锃亮,连螺纹里都没有积灰。 “陈师傅。” “这台机器当年下马,不是因为光学系统不行。” 林希停在XY工作台前。 用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。 “是因为这个。” 陈默一愣。 “套刻对准。” 林希蹲下去。 指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构, “纯机械传动,没有位置反馈。” “丝杠转一圈,理论行程是0.5毫米。” “但实际上,蜗轮齿面磨损不均匀。” “每转一圈的真实位移都不一样。” 他站起来,拍了拍手上的灰。 “套刻精度要求正负5微米。” “这套机械传动的累积误差,最大能到8微米。” “所以第二层图形永远对不准第一层。” “废片率超过六成。” 陈默的身体晃了一下。 他当然知道。 这个问题困扰了整个109会战团队两年。 他师傅为了解决这个死区。 在显微镜前连续坐了七十二个小时。 左眼的视网膜就是那时候脱落的。 最后也没解决。 林希从公文包里抽出一张图纸,展开铺在行军床上。 图纸上画着一套改造方案。 XY工作台两侧,各加装一条光栅尺。 光栅尺的信号接入一块数字控制板。 控制板驱动两台微型伺服电机。 替换原有的手摇蜗轮。 “红星和长光所联合自研自产的光栅尺,分辨率1微米。” 林希用笔尖点着图纸, “配合闭环伺服控制。” “丝杠的累积误差,在每个采样周期内实时补偿。” 他看向陈默。 “你的机器什么都好。” “光学系统是王老定的方案。” “底座经过四年自然时效,主光路没跑偏。” “它就差一双眼睛。” “现在,我把眼睛给它装上。” 第(3/3)页